Component

ppm

ppb

%

Balance N2

Balance Air

Balance He

Balance Ar

Balance Ne

Balance H2

Ammonia

Y

N

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Arsine

Y

Y

N

Y

N

Y

Y

Y

Y

Boron Trichloride

Y

N

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Boron Trifluoride

Y

N

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Carbon Monoxide

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Carbonyl Sulfide

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Chlorine

Y

N

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Cyanogen

Y

N

N

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Cyanogen Chloride

Y

N

N

Y

Y

Y

Y

Y

N

Diborane

Y

N

N

Y

N

Y

Y

Y

Y

Dichlorosilane

Y

N

Y

Y

N

Y

Y

Y

Y

Dimethylamine

Y

N

N

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Ethylene Oxide

Y

Y

N

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Fluorine

Y

N

N

Y

N

Y

Y

Y

N

Hydrogen Bromide

Y

N

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Hydrogen Chloride

Y

N

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Hydrogen Cyanide

Y

N

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Hydrogen Fluoride

Y

N

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Hydrogen Iodide

Y

N

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Hydrogen Sulfide

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Methyl Bromide

Y

N

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Methyl Chloride

Y

N

N

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Methyl Fluoride

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Methyl Mercaptan

Y

Y

N

Y

N

Y

Y

Y

Y

Monomethylamine

Y

N

N

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Nitric Oxide

Y

Y

Y

Y

N

Y

Y

Y

Y

Nikel Carbonyl

Y

Y

N

Y

N

Y

Y

Y

Y

Nitrogen Trifluoride

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Nitrogen Dioxide

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Phosgene

Y

Y

N

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Nitrous Oxide

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Y

Silane

Y

Y

Y

Y

N

Y

Y

Y

Y

Phosphine

Y

Y

N

Y

N

Y

Y

Y

Y

Trimethylamine

Y

N

N

Y

Y

Y

Y

Y

Y